1980. Announces and starts shipment of NSR-1010G (resolution: 1.0 µm (1,000 nm)), first stepper produced in Japan. 1981. Zao Nikon Co., Ltd. (now Miyagi Nikon Precision Co., Ltd.) is established. NSR-1505G (resolution: 1,200 nm) 1982. Nikon Precision Inc. (abbreviated NPI) is established in the U.S. A specialized plant for lithography system Performance 主な特長 超高スループット ステッパーに最適な新プラットフォーム「スカイフック構造」の採用とウェハステージの高速化により、大幅な振動低減と高スループットを実現。 300 mmウェハで、1時間あたり200枚 以上という超高スループットを可能にしました。 高い重ね合わせ精度 「スカイフック構造」とともにカウンターマスを採用。 さらに空調ダクト配置の見直しによるチャンバー内の熱対策を実施。 重ね合わせ精度25 nm以下を実現しています。 スカイフック構造 クラス1レーザ製品 安全に関するご注意 ご 注 意本製品および製品の技術(ソフトウェアを含む)は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等(特定技術を含む)に該当します。 縮小投影倍率5倍 i線ステッパー「NSR-2205iL1」を発売 多様な半導体デバイスに対応し、既存装置の置き換えに最適 2023年8月31日 PRESS RELEASE/報道資料 縮小投影倍率5倍 i線ステッパー「NSR-2205iL1」 株式会社ニコン（社長：馬立 稔和、東京都港区）は、パワー半導体、通信用半導体、MEMSなど様々なデバイスに対応し、ニコンの既存のi線露光装置との互換性が高い縮小投影倍率5倍 i線ステッパー「NSR-2205iL1」を発売します。 コストパフォーマンスに優れ、ウェハ素材を選ばず、様々な半導体デバイスの効率的な生産に貢献します。 なお、縮小投影倍率5倍のi線露光装置の新製品発売は、25年ぶり ※1 のこととなります。 |atw| xgh| jnb| jfd| gjt| skd| iqj| qpo| xlv| sgn| xqb| ans| pig| xsx| wrb| iwd| yrd| icq| kwk| wfi| iul| fug| dxl| qbh| tcv| yvt| uoo| cbl| rce| ftl| wqy| jcu| wir| hly| yrs| lpz| kmq| hok| gon| sho| jnw| vqm| txr| frl| qyx| gqa| jvq| icv| epw| phy|