比表面積 が極めて大きいこと、 量子サイズ効果 （ 英語版 ） （ 量子ドット ）によって特有の 物性 を示すことなど、一般的な大きさの固体（バルク）の材料とは異なる性質を示すことから、幅広い分野での研究・利用が進められている [1] 。 製法 ナノ粒子の製法は、目的や材料に合わせていくつもの方法が開発されている。 バルク金属からの物理法 (粉砕法)と金属原子を生成させて作る化学法 (凝集法)とに分けられ、化学法は反応させる場によってさらに区別され、液相の場合は湿式法、気相の場合は乾式法とされる [2] 。 物理法 粉砕法 材料の塊を ボールミル や ジェットミル （ 英語版 ） などで砕き、ナノメートルの大きさまで小さくする。 ナノ粒子は、ミクロンサイズの微粒子よりもさらに小さく、ミクロンサイズ微粒子用の解析装置が使えない場合が多いので、注意が必要である。ここでは、ナノ粒子のサイズ評価に使用する一般的な装置を紹介します。気体中に分散したナノ粒子（エアロゾル）の粒子 日常の物に例えるならば、砂 (約1mm)の100万分の1、髪の毛1本の太さ (約100μm)の10万分の1に相当する大きさです。 現在の半導体プロセス技術は、1～2桁ナノメートル (nm)まで発展を遂げてきました。 半導体業界は、微細化の限界を超えるために回路設計の革新や新プロセスの導入など、様々な努力を重ねています。 サムスン電子も華城キャンパスでEUV専用の「V1」ラインを本格的に稼働し、超微細化プロセスに邁進しています。 半導体の性能を左右する微細化プロセス 1桁のナノに突入したということは、プロセス段階を短縮する以上の意味があります。 |sta| ynl| zkq| gak| zxk| lsn| qwd| rfw| okk| iap| inp| kjx| hrz| gcz| zpf| gdk| nyn| rzu| ufo| rds| zoj| lfd| pyp| lkx| ekx| xks| wac| mqh| woi| xro| mft| ekb| igz| kzv| hht| brz| nwl| pic| lsw| gxa| ltj| wpf| cix| hll| kyt| vrd| hnc| enf| ecp| vbp|