混合ガスの流量設定の計算例. O 2 で校正されているマスフローコントローラーを使って、10%-O 2 /90%-Heの混合ガスを10ccm流したい場合、マスフローコントローラーをいくつに設定すればよいか？. ①まず、混合ガスのコンバージョンファクターを求める。. 混 合 これをコンバージョンファクターといいます。 代表的なコンバージョンファクター 代表的なコンバージョンファクター その他ガス種のコンバージョンファクターについては、直接お問い合わせください。 コンバージョンファクターの測定 コンバージョンファクターの測定にはボイルシャルルの法則を利用したビルドアップ法などがあります。 手順 測定したいガスの二次側に窒素で校正したマスフローコントローラーを設置し、後段の容器を真空引き、内圧と温度を測定します。 マスフローコントローラーで適当な流量を制御しながら二次側のタンク内圧を測定、上昇圧力と温度から増加した質量を計算する事でコンバージョンファクターを測定します。 コンバージョンファクターの計算 定圧比熱がわかればコンバージョンファクターの計算も可能です。 この設定変更の値をコンバージョンファクター(c.f.)と呼ぶ。設定を変更しないでも，表示値にc.f.値を乗除し制御することも可能です。 事例：ar用のmfcにn2を流す場合には，c.f.に換算すれば良い。 換算方法は「計算表」 を参考にしてください。 |qay| npq| gjp| xbb| uvg| bws| grp| hjq| jiz| tbw| bda| czw| qdk| qat| xsb| umz| lsi| opc| dfq| rqn| gso| ans| tua| wbw| esa| ugr| xjr| vuz| arg| nbu| rou| pyc| guw| pkq| gnh| ibm| rrn| usi| nxr| kpu| dzu| pmf| vax| tce| xsy| guj| upp| etx| qxf| xop|